CV-Messungen an geätzten epitaktisch gewachsenen Schichten formatIsbn:Softcover - 9783838621104 Das Mediavolumen beträgt 850 Mio

Das Mediavolumen beträgt 850 Mio

dass die zugrunde liegende Beschreibungssprache eindeutig und einheitlich definiert ist

Zeichen der Zeit

der aufgrund psychischer Belastungen frühzeitig verrentet worden ist

Die Arbeit greift Teilaspekte des Modells heraus

CV-Messungen an geätzten epitaktisch gewachsenen Schichten formatIsbn:Softcover - 9783838621104 Das Mediavolumen beträgt 850 MioInhaltsangabe: Einleitung: In der heutigen Zeit werden in immer mehr Gerten Halbleiterbauelemente eingesetzt. Unter der Zielsetzung, mglichst viele Strukturen auf einer Flche unterzubringen, haben sich tztechniken zu einem der wichtigsten Werkzeuge bei der Herstellung von Halbleiter Mikrostrukturen entwickelt. Jede Weiterentwicklung der tztechnik erlaubt die genauere Kontrolle der tzrate, der Selektivitt, der Flankensteilheit, der immer besseren